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MEMS压力传感器及其应用

—— MEMS Pressure Sensor Principle and Application
作者:颜重光 华润矽威科技(上海)有限公司时间:2009-06-15来源:电子产品世界

  MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/95279.htm

  可以用类似(IC)设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门,使压力控制变得简单易用和智能化。传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形,由机械量弹性变形到电量转换输出,因此它不可能如那样做得像IC那么微小,成本也远远高于。相对于传统的机械量传感器,MEMS压力传感器的尺寸更小,最大的不超过1cm,使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。

  MEMS压力传感器原理

  目前的MEMS压力传感器有,两者都是在硅片上生成的微机电传感器。

  是采用高精密半导体电阻应变片组成作为力电变换测量电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗,极低的成本。的压阻式传感器,如无压力变化,其输出为零,几乎不耗电。其电原理如图1所示。其应变片电桥的光刻版本如图2。

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