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硅电容式压力传感器 文章

基于高温的微型压力传感器设计方案

MEMS压力传感器及其应用

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硅电容式压力传感器介绍

电容式压力传感器   capacitive type pressure transducer   利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。它一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器,可分 [ 查看详细 ]

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