北方微电子三种高端设备亮相SEMICON

　　为了应对市场变化，北方微电子在集成电路设备研发的基础上加大了太阳能电池领域高端设备的研发投入，开发出集成电路12英寸65纳米硅刻蚀机、晶硅太阳能电池PECVD设备和薄膜太阳能电池PVD设备，三种高端设备将在本次展会上同时亮相。

　　北方微电子新研制的1 2 英寸NMC612A等离子刻蚀机，在满足用户对65纳米多种硅刻蚀工艺需求的同北方微电子三种高端设备亮相SEMICON时，强调大工艺窗口，小占地空间，低耗材价格，高智能软件等几大优势，同时还注重45纳米的工艺延伸能力。经过一年的生产线验证，已经得到了生产线的较高评价。

　　针对绿色能源产业的蓬勃发展，北方微电子快速响应市场需求，开发完成了新型晶硅太阳能电池设备ESSINDTM平板式PECVD系统。该设备用于晶硅太阳能电池的减反射和钝化工艺的氮化硅薄膜沉积，是国产先进的大产能平板式设备。

　　同时，北方微电子非常重视薄膜太阳能领域的发展，通过与国外公司技术合作，成功开发出ROCSTM1500太阳能平板式PVD设备，主要应用于5代薄膜太阳能电池面板的金属化、TCO透明电极制备和窗口层/吸收层制备工艺，该设备在晶硅太阳能和TFT等领域也有广泛的应用前景。