- 早期采用TiO2膜或MgF2/ZnS混合膜以增加对入射光的吸收,但该方法均需先单独采用热氧化方法生长一层10~20umSiO2使硅片表面非晶化、且对多晶效果不理想。SixNy膜层不仅减缓浆料中玻璃体对
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晶体硅 丝网印刷 HF-PECVD
- 市场需求催生创新动力,八零后的许子寒直接退学创业石墨烯,或许正缘于此。
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石墨烯 PECVD
- 以评估高深宽比TSV 应用的金属化制程
湿式纳米薄膜沉积工艺能够以低持有成本提供20:1深宽比TSV
3D 整合正朝着中段钻孔(via middle approach)的做法发展,即在前端工艺之后,但却在堆叠之前形成TSV。一些应用正处于研发阶段,导致TSV技术的限制和不同规格。 Alchimer 的技术显示出突破现有障碍,实现高深宽比TSV 的潜力。此次协作将评估其技术的潜力及其大批量生产的适用性。
Alchimer 的执行长Bruno Morel 表示:「目前的技术,例如PECV
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Alchimer PECVD
- 应用材料公司宣布推出全新等离子体增强化学气相沉积(PECVD)薄膜技术,用于制造适用于下一代平板电脑和电视的更高性能高分辨率显示。这些源自应用材料公司业界领先的AKT-PECVD系统的先进绝缘薄膜,使得基于金属氧化物的晶体管的应用成为可能,制造出尺寸更小、开关速度更快的像素,从而帮助客户推出更受消费者欢迎的高分辨率显示屏。
应用材料公司的全新PECVD设备沉积绝缘介电薄膜,为金属氧化物晶体管提供了一个良好的层间界面,从而最大限度地减少了氢杂质,提高了晶体管的稳定性,实现了显示屏的优化性能。这些高
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应用材料 PECVD
- 为了应对市场变化,北方微电子在集成电路设备研发的基础上加大了太阳能电池领域高端设备的研发投入,开发出集成电路12英寸65纳米硅刻蚀机、晶硅太阳能电池PECVD设备和薄膜太阳能电池PVD设备,三种高端设备将在本次展会上同时亮相。
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北方微电子 集成电路 PECVD
- 光伏发电将成为未来电网的支柱和方向。随着我国《可再生能源法》的颁布实施,以及近两年我国光伏产业规模的迅速扩大,生产设备销量也大幅增长。2006年国产光伏电池设备销售额达到6亿元,比2005年增长76.6%。预计2007年国产光伏电池设备销售额将超过7亿元。
各类国产设备与国际差距不一
PECVD产能及工艺水平已接近世界先进水平,得到越来越多国内用户的使用,但设备自动化程度(自动装卸片)与国外尚有差距。
全自动丝网印刷机在核心技术上无法取得突破,整体水平和国外差距较大,国内生产线几乎全部采用了价
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模拟技术 电源技术 光伏发电 再生能源 PECVD 电源
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