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MEMS射流角速率传感器中微悬空铂丝加工工艺的优化设计

作者：时间：2012-04-23来源：网络收藏

本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/160750.htm

关键词：工艺优化设计加工悬空速率 传感器 MEMS

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