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三星外包低端光掩模，将资源集中在ArF和EUV上

三星 低端光掩模 2025-05-15

三星被曝将首次外包芯片“光掩模”生产，聚焦ArF和EUV等先进技术

三星 外包芯片 2025-05-14

三星旗下Semes成功开发出一种ArF-i光刻涂胶/显影设备

三星 Semes 2024-06-26

传日本光刻胶大厂JSR将在韩国建立ArF产线

日本 JSR 2019-12-04
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