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“中国芯”传来喜讯！中微半导体：突破5nm蚀刻机，3nm提上日程

中微半导体 5nm 2021-01-04

蚀刻机和光刻机之间的区别，国产5nm蚀刻机取得台积电认证

蚀刻机 光刻机 2020-10-19

中微蚀刻机与台积电合作 携手45纳米前进32纳米

中微 台积电 2009-03-02
  • 蚀刻机专栏

中国芯片刻蚀机第一人：77岁尹志尧12句话说透芯片制造

蚀刻机 2021-04-27
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