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技术应用
目录 1 简介 2 蓝宝石 3 碳化硅 4 硅衬底 5 性能比较 6 材料评价 ? 氮化镓 ? 氧化锌 ? 蓝宝石 ? 碳化硅 简介 对于制作LED芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底,需要根据设备和LED器件的要求进行选择。市面上一般有三种材料可作为衬底: ·蓝宝石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC) 蓝宝石 通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。查看更多>>
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蓝宝石衬底