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蓝宝石衬底

  目录   1 简介   2 蓝宝石   3 碳化硅   4 硅衬底   5 性能比较   6 材料评价   ? 氮化镓   ? 氧化锌   ? 蓝宝石   ? 碳化硅   简介   对于制作LED芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底,需要根据设备和LED器件的要求进行选择。市面上一般有三种材料可作为衬底:   ·蓝宝石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC)   蓝宝石   通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。查看更多>>

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