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技术应用
微传感器 微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件,它应用新的工作机制和物化效应,采用与标准半导体工艺兼容的材料,用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐。 1分类 微传感器的分类: 根据是否有能源供应,可以分为有源微传感器(例如:压电)和无源微传感器(例如:荧光) 根据微传感器所能测量的对象不同,还可以分为如下九类: 机械微传感器:用于力、形变、位移和速度等测量的微传感器。 电学微传感器:用于电流、电位、电阻和电容等测量的微传感器。查看更多>>
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