场区
在微电子学中,场区是指一种很厚的氧化层,位于芯片上不做晶体管、电极接触的区域,可以起到隔离晶体管的作用。 有源区和场区是互补的,晶体管做在有源区处,金属和多晶硅连线多做在场区上。 CMOS工艺中的场区(即...... [查看详细]