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资腾科技在Semicon China 2024展示ESG创新力,推出优化半导体制程产品

作者: 时间:2024-03-19 来源:EEPW 收藏

佳世达集团罗升企业旗下(Standard Technology Corporation)参加 2024展览,展示多项协助优化的创新产品,如超洁净金属气体过滤器、超高精度光阻涂布泵等。该展览于3月20日至22日在上海新国际博览中心举行,的展位位于N3馆3145号。总经理陈国荣表示,因应全球、第三代半导体等趋势需求,今年资腾科技将展示一系列针对半导体制造行业的创新产品,旨在提高制程效率、减少环境负荷,并支持产业的永续发展。以下是其中几项亮点产品:

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202403/456539.htm

1.超洁净金属气体过滤器:次世代奈米工厂必备,金属烧结微米级不锈钢(SUS 316L)短纤维制成薄层金属膜过滤器,皱褶状设计增加过滤面积。专为Load lock chamber排气过滤而设,缩短排气时间,提高机台5-8%的稼动率。

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2.超高精度光阻涂布泵:适用于半导体黄光制程光阻涂布,以及其他需要精确控制药液喷吐量的应用场景。几乎零药液浪费,可与半导体设备(如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等)匹配使用。提供气缸式和马达式控制,稳定性高且寿命长。资腾提供在地实时服务支持。

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3.非接触型涡漩式吸笔:资腾自主研发,利用伯努利原理吸取薄片晶圆或是光学组件,避免晶圆或是光学组件表面刮伤,提高晶圆传送效率和稳定性。具有客制化和价格优势,目前已有SiC与光学组件厂客户销售实绩。

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资腾科技充分考虑大陆市场特性和全球趋势,针对、第三代半导体、新建晶圆厂和设备国产化等领域提出不同的解决方案。通过强大的产业实践经验和技术能力,与合作伙伴携手,共同促进半导体产业的创新未来。

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【展览信息】

SEMICON CHINA 2024 展览时间

2024年3月20-22日 09:00am - 5:00pm

地点: 上海新国际博览中心

资腾展位: N3馆Booth: 3145(靠近3号Entrance)

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