基于单片机的静电探针自动测量系统
2 系统硬件设计本文引用地址:https://www.eepw.com.cn/article/172689.htm
2.1 扫描电压产生模块
根据静电探针测量理论,要获得,I-V特性曲线,需要在探针两端加±50V的扫描电压。该系统通过MAX531产生土2.048 V的电压,经PA81J放大后产生±50V的扫描电压,满足静电探针测量的要求。
MAX531是美信集成半导体公司生产的12位串行D/A转换器,采用±5V供电,内置单电源CMOS运算放大器,其最大工作电流仅为260μA,具有很好的电压偏移、增益和线性度,单片机通过SPI接口对其进行控制。
MAX531双极性输出接法如图3所示。
PA81J是APEX公司生产的功率放大器,双电源供电、耐压高、输出电压范围宽、偏置电流小、输出电流大,典型的应用电路如图4所示。
下面给出MAX531的C语言驱动程序:
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