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关注 | 年产刻蚀机、PVD等设备超150台,北方华创集成电路装备项目或6月竣工

发布人:旺材芯片 时间:2021-02-22 来源:工程师 发布文章

在北京经开区,高端集成电路装备研发及产业化项目、中芯京城集成电路生产线项目等7个项目“春节不打烊”,持续施工。

其中,高端集成电路装备研发及产业化项目90余名工人坚守岗位,确保项目建设不停工。据北京亦庄消息,该项目经理表示,目前正在装饰装修阶段,该项目预计6月初全部竣工,并将交付业主使用。

据悉,该高端集成电路装备研发及产业化项目为地下2层、地上10层,将建设28纳米以下集成电路装备工艺验证及产业化条件,搭建5或7纳米先进工艺设备测试验证平台,进行先进半导体工艺装备研发及产业化。项目建设完成后,将具备年产刻蚀机、PVD、退火炉、立式炉、清洗机等设备150台以上的能力。

而根据此前中建大成建筑有限责任公司消息来看,该项目为北方华创高端集成电路装备研发及产业化项目。



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