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中国硅片月需100万片 为何几乎依靠进口?

作者:时间:2016-12-27来源:EEFOCUS收藏

  硅片是生产的主要原材料。硅片尺寸越大则每片硅片上可以制造的芯片数量就越多,从而制造成本就越低。硅片尺寸的扩大和芯片线宽的减小是行业技术进步的两条主线。现在12 寸硅片的出货量占比超过60%,是目前主流的硅片尺寸。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/201612/342099.htm

  通常釆用查克洛斯法(CZ Method)将高纯度的多晶硅锭拉成不同电阻率的硅单晶锭。硅片加工过程要经过晶体定向→外园滚磨→加工主、副参考面→切片→倒角→热处理→研磨→化学腐蚀→抛光→清洗→检测→包装等工序。

  根据硅纯度的不同要求,可分为太阳能等级99.9999%,6个“9”纯度,以及半导体等级11个“9”。本文只涉及半导体用的硅片。

  硅晶园

  在半导体制造业中广泛使用各种不同尺寸与规格的硅片,通常包括4英寸、5英寸、6英寸、8英寸及12英寸,它们的基本规格如下表所示。

  

中国硅片月需100万片 为何几乎依靠进口?

 

  來源:半导体制程技术导论;2001年肖宏P102

  按IC Insight资料,2015年底全球半导体安装产能总计月产1635.3万片(8英寸计)。按地区分布,台湾地区依月产354.7万片,市占率达21.7%,居全球首位;韩国依月产335.7万片,市占率20.5%,居第二;日本依月产282.4万片,市占率17.3%,居第三;北美依月产232万片,市占率14.2%,居第四;中国依月产159.1万片,市占率9.7%,居第五位;欧洲依月产104.6万片,市占率6.4%,居第六位;其它地区市占率10.2%。

  由于缺乏统一定义,硅片尺寸过渡的时间无法达成共识,其中有一种观点认为累积硅片的出货量超过100万片时,表示该进入硅片尺寸时代。实际上如英特尔等总是领先其它业者,首先进入更大尺寸的硅片。

  现据SEMI 2006年的说法,将全球硅片尺寸的过渡时间表列于如下:4英寸硅片于1986年;6英寸于1992年;8英寸于1997年;12英寸于2005年。但如果依英特尔的芯片生产线建设(见intel’s all fab list),它的3英寸生产线是建于1972年的FAB2 ;4英寸生产线是建于1973年的FAB4;6英寸生产线是建于1978年的FAB5;8英寸生产线是建于1992年的FAB15;第一条12英寸生产线建于2002年FAB12( in Hillsboro),与IBM同步。

  

中国硅片月需100万片 为何几乎依靠进口?

 

  业界较为公认的说法,1980年代是4英寸硅片占主流,1990年代是6英寸占主流,2000年代是8英寸占主流,到2002年时英特尔与IBM首先建12英寸生产线,到2005年己占20%,到2008年占30%,而那时8英寸己下降至54%,6英寸更下降至11%。

  

中国硅片月需100万片 为何几乎依靠进口?

 

  多晶硅的原材料是高纯度的石英,目前已知的全世界储量中,中国量最多、品质最好,但是我国之前却是将石英矿沙在高温下还原成金属硅后低价外销,再高价进口多晶硅,并且石英还原成金属硅的阶段是高度污染的。好在近些年光伏产业带动了国内多晶硅产业的发展,目前太阳能等级的多晶硅,我国的产量已经是全球第一。

  截止2014年,全球300mm硅片实际出片量已占各种硅片出片量的65%左右,平均约450万片/月。2015年第1至第2季度每月平均需求量约500万片。

  现在300mm半导体级的硅片,国内一个月需求量约45-50万片,而目前国内的产量几乎为零,这是产业链上最为紧缺的一环,预计未来的5年内仅300mm硅片中国的需求量要超过月产100万片以上。而从硅片的市场供应,全球日本生产的最多,日本信越和SUMCO,这两家的产能和实际供应量总和占全球2/3以上。300mm半导体级的大硅片,不仅是产业链缺失的重要一环,也是国家安全战略发展的需要。


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