RTN的SRAM误操作进行观测并模拟的方法简介
瑞萨电子开发出了对起因于随机电报噪声（RTN：Random Telegraph Noise）的SRAM误操作进行观测并实施模拟的方法。利用该方法可高精度地估计22nm以后尖端LSI中的RTN影响，适当设定针对RTN的设计余度。该公司已在“2010 Symposium on VLSI Technology”（2010年6月15～17日，美国夏威夷檀香山）上发表了该成果（论文编号：18.1）。
RTN是一种因晶体管载流子被栅极绝缘膜等中的陷阱捕获或释放，而使晶体管阈值电压随时间随机变动的现象。业界普遍预测，今后随着微细化的发展，RTN将成为导致LSI工作故障的主要原因。瑞萨此前一直在推进RTN的分析及模型化研究。目前已在RTN公式化以及陷阱能级分布的推测方法等方面取得了成果。
此次该公司以SRAM为对象，开发了用于分析RTN对电路工作造成的影响，并将分析结果体现在芯片设计中的方法（图1）。该方法由三项要素构成：（1）对起因于RTN的SRAM误操作进行观测，掌握其发生概率的方法，（2）在实用时间内对误操作发生的概率进行模拟的方法，（3）使加速试验的结果体现在模拟中，以提高精度的方法。此次使通过（2）、（3）方法导出的计算结果与（1）加速试验的结果实现了充分吻合。在这一方面，值得一提的是以下两点。第一，瑞萨以前一直在探讨的RTN分析式在预测起因于RTN的电路误工作时有效。第二，今后通过提高加速试验的规模及精度，并体现其结果，便有望将模拟精度提高到实用水平。
下面分别介绍一下（1）、（2）、（3）的概要。
观测与模拟的结果充分吻合
（1）以电路水平观测起因于RTN的误操作，可以说这是一项对RTN的影响进行评估的基本操作。不过，如果是目有微细化水平的芯片的话，RTN所致误操作的发生频率非常低，很难进行观测。因此，瑞萨采用了有意减小SRAM的工作余度，提高RTN所致误操作频率的方法（图2）。即加速试验方法。具体而言，就是通过降低SRAM电源电压，提高字线电压，来减少读取数据时的工作余度。通过在这种状态下反复读取数据，使RTN所致误操作频发。
该加速试验的结果表明，在发生工作故障的bit数的读取次数增加的同时，其增加倾向与（2）中所述模拟导出的倾向相吻合（图3）。而且，该加速试验中生产故障的bit还具有再现性。从这些结果可以推侧，由此观测到的工作故障起因于器件内部存在的，且随时间变动的偏差，即RTN。
从（2）来看，一般很难以分析式导出RTN所致SRAM误操作的概率。其原因在于，RTN尽管是依存于时间的现象，但却无法获得包括时间项在内的完全分析式。因此，使用模拟手段，将时间项作为参数导入计算的方法十分有效。该方法的优点在于，可在计算中将普通陷阱检测方法因时间常数及能量过大或过小而无法检测的“看不见的陷阱”纳入考虑（图4）。
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