硅衬底

　　硅衬底是目前价格最便宜，可获得尺寸最大，器件工艺较成熟的半导体材料，用硅材料制备光电子器件,从而使成熟的硅集成电路工艺与IV—族,IⅥ族光电一子器件的光电特性结合在一起,发挥材料的各自优势,巳成为较活跃,有吸引力的研...... [查看详细]