硅衬底LED
硅衬底LED是近年来新开发的一种在硅衬底上制造的GaN基LED,目前国际上商品化的GaN基LED均是在蓝宝石衬底或SiC衬底上制造的。但蓝宝石由于硬度高、导电性和导热性差等原因,对后期器件加工和应用带来很多不便,Si...... [查看详细]