MEMS在半导体产业发展中起关键作用

　　在最近举行的旧金山全球媒体电子峰会上，一个小组会议提出了这样明确的断言：半导体供应商如果不发展微机电系统(MEMS)事业，那么将来就会被淘汰出局。

　　“能量转化为运动发生在200多年前开始的工业革命，有趣的是MEMS是这一演进的一部分。随后的主要进步是计算和晶体管的发明。第三次主要的机器革命则与传感器有关”，美信集成产品公司总裁Vijay Ullal表示。

　　“如果你能将运动、计算和传感三者全部结合起来，你可以造就一个真正的智能机器人，也许还可以跟人竞争”，Ullal补充道，“MEMS不仅是一个新的发明，还将实现我们社会的第三次大规模变革。任何一家半导体公司现在必须做MEMS，否则将会消亡”。

　　“美信喜欢MEMS市场，因为它是一个真正分散的市场，” Ullal指出。“许多用户和你都能实现产品的差异化，这也符合我们的商业模式。我们正在进入MEMS市场，并准备从成熟玩家尚未主导的领域开始。我们已经有谐振器和微型继电器，后面我们还将进一步扩大范围。最有意思的不是MEMS器件本身，而是器件、信号处理和算法的组合。我们感兴趣的原因是，它是一个增长潜力巨大的市场”。

　　记者问Ullal，美信是否寻求收购来扩大MEMS事业。Ullal说，找一个好的合作伙伴可能比收购更好，因为收购可能具有相当大的破坏性。 “MEMS产业现在最需要的创业精神正在失去。你可能已经看到，很多小公司取得了很大的进步，他们的优势就是善于创新。”

　　模拟器件公司(ADI)是资格更老的MEMS产业成员，公司开展MEMS工作有20多年时间了。ADI公司副总裁兼MEMS事业部总经理Mark Martin解释了MEMS应用的广泛性——“不只是汽车和消费电子，而且现在正向工业和医疗仪器发展。”

　　专注于惯性传感器产品的Kionix公司销售和营销副总裁Eric Eisenhut解释说，“用户界面体验如果做得好，就能成为产品的坚实基础。你必须理解传感检测背后的基础物理和数学知识，我们并不奢望我们的用户能够理解这些知识。”

　　MEMS潜在客户关心的主要问题是MEMS的高价格。“当器件变成较大批量的消费类产品时，就有需要降低成本”， VTI Technologies公司副总裁兼总经理Scott Smyser表示，“我们已经去掉外部包装，将MEMS直接与倒装芯片封装的调节ASIC放在一起”。

　　“这显然与制造工艺有关，但是理解器件的目标应用也很重要”，Eisenhut补充道，“我们不希望公司变得大众化，仅仅依靠元件供应和价格取胜，而是要了解将相关功能集成到ASIC的应用。”

　　“历史上我们曾用相当复杂的生产工艺进行过小批量生产，”ADI公司的Martin说。 “这显然已经改变。在看到我们今天进行的量产时，我认为作为一种产业已经相当成功地降低了成本。生产工艺日趋成熟，作为MEMS诟病的良率也正在接近传统半导体工艺的指标”。

　　技术的应用都有一个学习的过程。一些用户以前只根据价格购买三轴加速计。用户逐渐发现不是所有的器件都做得一样。用户的体验因为传感元件的功能和精度而大不相同。随着时间的推移、市场的成熟和产品的丰富，市场将分割成成本非常低的市场以及其它领域。