Bosch选择Lam Research的刻蚀系统用于MEMS制造
全球领先的半导体晶圆制造设备供应商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH选择了其TCP 9400DsiE深硅刻蚀系统。Bosch是全球领先的MEMS传感器制造商，特别专注于汽车传感和消费电子市场。
本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/92240.htm
全球领先的半导体晶圆制造设备供应商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH选择了其TCP 9400DsiE深硅刻蚀系统。Bosch是全球领先的MEMS传感器制造商，特别专注于汽车传感和消费电子市场。
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