Bosch选择Lam Research的刻蚀系统用于MEMS制造 作者： 时间：2009-03-10 来源：SEMI 加入技术交流群 扫码加入和技术大咖面对面交流海量资料库查询 收藏 <a href='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/ck.php?n=a635e61e&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE' target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=88&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a635e61e' border='0' alt='' /></a> <a href='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/ck.php?n=a576c0a2&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE' target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=87&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a576c0a2' border='0' alt='' /></a> 全球领先的半导体晶圆制造设备供应商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH选择了其TCP 9400DsiE深硅刻蚀系统。Bosch是全球领先的MEMS传感器制造商，特别专注于汽车传感和消费电子市场。
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