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先锋半导体实现刻蚀机核心部件国产化,配套台积电全球首条5nm产线

作者:时间:2021-09-10来源:全球半导体观察收藏

据泰州日报报道,靖江科技有限公司实现了大规格集成电路晶圆核心部件国产化,并将配套全球首条5纳米芯片生产线。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202109/428158.htm

报道指出,公司总经理游利介绍,喷淋盘是芯片制造设备的主要部件,产品将用于中微半导体公司生产的5纳米,并应用于台积电全球首条5纳米制程生产线。

资料显示,先锋半导体成立于2008年,是一家从事半导体器件、集成电路专用设备及零部件、航空和高端装备精密部件研发、制造、销售、服务于一体的国家高新技术企业,产品主要应用在刻蚀机、镀膜机等集成电路装备,供应给国内外半导体行业OEM厂商,是中国半导体行业精密零部件的主要制造商。

2008年成立之初,先锋半导体便与中国半导体设备知名厂商中微半导体展开合作。2018年底,中微半导体突破欧美封锁,成功研发出5纳米芯片刻蚀机,其中的主要部件喷淋盘,就是先锋半导体研发生产的。目前,先锋半导体已成为中芯国际、中微半导体、北方华创、北方微电子等国内半导体企业的重要供应商。

游利表示,下一步,先锋将在半导体装备关键零部件国产化替代、本地化研发领域,坚定走“专精特新”发展之路。同时,瞄准行业前沿,用国际化的眼光对标、赶超行业先进,致力打造全球有竞争力的精密制造专家。




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