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先锋半导体实现刻蚀机核心部件国产化，配套台积电全球首条5nm产线

• 据泰州日报报道，靖江先锋半导体科技有限公司实现了大规格集成电路晶圆刻蚀机核心部件国产化，并将配套全球首条5纳米芯片生产线。报道指出，先锋半导体公司总经理游利介绍，喷淋盘是芯片制造设备刻蚀机的主要部件，先锋半导体产品将用于中微半导体公司生产的5纳米刻蚀机，并应用于台积电全球首条5纳米制程生产线。资料显示，先锋半导体成立于2008年，是一家从事半导体器件、集成电路专用设备及零部件、航空和高端装备精密部件研发、制造、销售、服务于一体的国家高新技术企业，产品主要应用在刻蚀机、镀膜机等集成电路装备，供应给国内外半导
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