关 闭

新闻中心

EEPW首页 > 工控自动化 > 设计应用 > 压阻式传感器的应变与温度交叉灵敏度分析

压阻式传感器的应变与温度交叉灵敏度分析

作者:时间:2011-12-06来源:网络收藏

Analysis of the Strain of Piezoresistive Sensor and Temperature Crossed Sensitivity
ZHAO Fan
(Shanxi University of Technology, Hanzhong 723003, China)
Abstract: With the help of Thaler expanding formu la of dualistic function, the author gave the formula of computing the strain a nd temperature crossed sensitivity, explained the physical meaning. Combining real measurement data, he evaluated the crossed sensitivity.
Key words: piezoresistive sensor; strain; temperature; crossed s ensitivity

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/161353.htm

1 计算公式的给出

压阻式是在圆形硅膜片上扩散出四个电阻,这四个电阻接成惠斯登电桥。假设四个扩散电阻的起始电阻都相等且为R,当有应力作用时,两个电阻的阻值增加,增加量为ΔR,两个电阻的阻值减小,减小量为ΔR;另外由于影响,使每个电阻都有ΔRT的变化量。若电桥的供桥电压为U,则它的输出电压为:

65.jpg

式中:πL—压阻系数;E—电阻半导体材料的弹性模量;S=πL·E—

根据四个电阻本身的特性,设它们的温度系数为α,则:

66.jpg

ε和温度T的作用,则由泰勒公式在初始ε0和环境温度T0下将式(4)展开得:

67.jpg

,当不考虑温度影响时,该项为常值;SεT=USα,定义为应变与温度的灵敏度。

第三项、第四项及以后各项为温度变化项,忽略掉ΔT的高阶项,温度与的输出呈线性关系,令ST=USεα,定义为的温度灵敏度。忽略掉高阶项,式(6)又可写为:

68.jpg

称重传感器相关文章:称重传感器原理

上一页 1 2 下一页

评论


相关推荐

技术专区

关闭