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12英寸硅片制造向18英寸过渡或在2015-2017年时段开始

作者:时间:2011-06-16来源:SEMI收藏

  CEO Mike Splinter日前表示,他预计12英寸向18英寸过渡或在2015-2017年时段开始。他同时告诫半导体生产商,必须避免以前8英寸向12英寸过渡时发生的一些问题(主要是芯片生产商和设备厂商在计划协调上的不同步)。Mike Splinter同时透露,明年将正式开始切入18英寸生产设备的开发工作,他表示,在18英寸设备的自动化装置和工艺反应腔方面有大量的工作还有待完成。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/120474.htm


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