SEZ树单晶大旗，向芯片生产各环节渗透

2004年5月A版

　　在3月中旬上海的SEMICON China展会期间，单晶湿式清洗技术的市场领先者和技术创新者—SEZ(瑟思)集团公司接受了本刊的采访。

　　SEZ集团是一家总部设在奥地利的公司，为半导体制造提供领先的单晶湿式清洗处理、基板蚀刻的解决方案，已在全球安装了750多套系统。首席市场官员Heinz Oyrer 认为：“90nm及以下技术环境下晶圆处理和操作方法正在发生变革，正从传统的批式工艺方法向单晶湿式处理做大幅度的调整。”因此，SEZ介绍了几款专为中国客户开发的产品和技术，最引人瞩目的当属2月刚问世的Da Vinci (达芬奇)家族三款产品：DV-28F、DV-34BF 和 DV-24BF。依托SEZ的一系列工艺应用系统，可满足200毫米和300毫米晶圆制造过程中单晶湿式处理的前段和后段工艺过程的需求。这些新系统的诞生同时标志着SEZ可为半导体生产链的各个环节提供湿式处理解决方案，即从晶圆制造、装配到封装的所有环节。

　　同时，SEZ也步入了基板蚀刻设备领域，推出了用于更薄、性能要求更高的IC封装的设备：GL-210。GL-210为Galileo(伽利略)系统的一款新产品，整合了该公司在单晶系统上公认的Spin-Processing(旋转处理)技术，从而在后端、装配和封装以及前端晶圆制造过程中实现了晶圆薄化、表面研磨以及应力消除。

SEZ在中国

　　SEZ在中国的发展也十分迅猛，亚太区执行副总裁兼首席运营官Herwig Petschnig称该公司在中国单晶圆湿式处理市场占有75%的份额。最近SEZ 还获得了来自中国主要半导体厂商的重要订单，订单涉及到SEZ的几套旋转处理系统，计划将于2004年上半年发货安装；而且近期另一家领先的中国半导体厂商在安装了最新的SEZ  Da Vinci Series单晶圆高产能解决方案—DV-28F后，已经成长为产能第一的制造厂。

　　瑟思贸易(上海)公司的工艺工程师钱毅小姐说，为了改善和发展对中国客户的支持，SEZ已在上海开设了客户支持中心，由此将能够简化客户服务的效率，迅速响应客户需求。目前该公司在中国已建立了超过10人的专业技术队伍。同时SEZ将继续平衡与中国的销售合作伙伴—KD 科技有限公司(上海)的合作关系，以期扩大公司在这一区域的影响。■