传感器技术在微量注射泵中的应用
由图1可以看出,在x为任何值时,动栅上的48块极板中总有一部分与“地”(屏蔽板)形成电容,相应的输入信号源直接接入“地”,对传感器的输出信号不产生影响,可是为了导出φ(x)(φ(x)为传感器的输出信号相对于某一驱动信号的相位移)随位移量x连续变化的统一公式,在推导中不考虑这些极板对“地” 形成电容,而仍把它们看作对定栅板形成电容,只不过此时它们的电容量为零而已。由于这些电容量为零,则其阻抗为无穷大。相应的信号源全部落在这些电容上,同样,对传感器的输出信号无影响。
如果给容栅传感器每组发射极板上所加的发射电压V1~V8为8路频率、幅值相同而相邻小极板间相位相差为π/4的正弦交变电压,则在发射极上有电压Vf,在接收极上有电压Vr。应用交流电路理论及基尔霍夫电流定律,解读图l的等效电路,如下:本文引用地址:https://www.eepw.com.cn/article/163580.htm
如果用Vo表示各发射极电压的幅值,并取8路信号中的第1路信号的相位为参考值,则有: |
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