进口无油真空泵在干蚀刻工艺中的应用

随着工业的发展壮大，越来越多的企业对真空泵的需求也越来越大，相对于国外的真空泵厂家，国内的真空泵生产水平也越来越高，真空泵的竞争越来越大。本文想要介绍一下进口无油真空泵，所谓无油是指在泵腔内不使用油类和液体，而传动的齿轮和轴承还需要油类润滑，只是油蒸气不允许进入泵的吸气口。我们一起来研究一下无油真空泵在干蚀刻工艺中的应用。

蚀刻工艺可分为铝质金属蚀刻、多晶矽类的蚀刻、氧化膜的蚀刻等，金属类的蚀刻会产生大量反应副产物，对真空泵的负荷会很大。

多晶矽膜、氧化矽膜等的蚀刻使用CF₄，HBr，SF₆等气体，反应副产物较少，升华温度较低，可以气态形式排出泵外。铝质金属的蚀刻则使用三氯化硼等氯化气体，会产生大量的四氯化铝，升华温度高，很容易附着在温度低的部位，未发生反应的气体又多半属于腐蚀性较强的。在钛的蚀刻中常使用氟化系气体，其特性类似于氯化系气体。

干蚀刻生产中多用到氟、氯、溴化物系等腐蚀性较强的气体，这些气体与水结合变成强酸，有强烈腐蚀性。因此，要求泵和管道材料具有高度耐腐蚀性能。

意大利无油真空泵优于其油基泵的优势

大多数类型的真空泵使用油来润滑密封件，这种油具有相当大的缺点。它会导致油雾的形成，这对泵的维护提出了挑战。这个问题的最佳解决方案是使用粗加工或前线陷阱来减少或消除回流油。无论这种措施如何，如果油通过捕集器的系统侧，它就会成为蒸汽源，不能防止其进入系统。另一方面，在进行简单维护时，例如在通过需要额外清洁检查油是否通过时，油阱使其更加困难。无油真空泵 开发是为了通过彻底消除石油来克服油基泵所面临的挑战。

无油真空泵是环保的，不会造成油污染。它消除了烦人的气味以及废油去除的麻烦和成本。通常，无油泵更有效，更灵活和可靠。它们具有更高的前线压力，通过实现比机械泵更高的真空度来改善其性能。通过采用无油机器，节省购买油过滤配件，特殊油和疏水阀的成本。

油基泵通常需要定期维护和注意，并经常遇到速度损失。另一方面，无油真空泵始终始终全速运转。他们可以在不需要检查或维护的情况下提供数千个服务时间。

在选购无油真空泵时要先确定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而选的真空泵就要高于需求的真空度，否则达不到抽真空的要求，就会达不到工作要求。其次是无油真空泵抽气速率，选型时就要稍大于所需求的抽气速率，这样就能更好的满足需要。最后看抽取的气体有无腐蚀性，有腐蚀的气体会腐蚀泵，必须要用特殊的材质才能满足需求。

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