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AMAT发布硅晶圆切割线锯新品

作者:时间:2009-03-20来源:电子产品世界收藏

  美国应用材料()发布了可从硅锭上切出120μm厚太阳能电池用晶圆的线锯设备“Applied HCT MaxEdge”。表示,使用该装置可减少每枚晶圆的硅用量等,所以可将多晶硅型太阳能电池单元的制造成本降低约0.18美元/W(假设多晶硅的价格为55美元/kg时)。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/92634.htm

  Applied HCT MaxEdge可在不降低产量的情况下切割出较薄的晶圆。切割负荷比该公司原装置“Applied HCT B5”可增大45%。两装置均采用以两根金属线切割的方法。但新产品具有可控制金属线张力的功能,切割较薄的晶圆时可使用更细的金属线。

  使用原来的金属线时,要制造较薄的晶圆,必须控制施加硅铸锭上的负荷和切割速度。因此,难以兼顾高产和晶圆的薄型化。

  太阳能电池单元厂商通过减薄晶圆,减少了每枚晶圆的硅用量,从而降低制造成本。但因变薄了的晶圆易碎裂,因此在切出晶圆后的制造工序中存在无法确保高成品率的问题。(



关键词: AMAT 硅晶圆

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