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韩国SK Materials量产高纯度氟化氢,加速半导体材料国产化

作者:时间:2020-06-19来源:电子工程专辑收藏

韩国17日表示,生产企业SK Materials近期开始量产超高纯度(纯度99.999%)氟化氢气体。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202006/414458.htm

据韩国国际广播电台报道,去年日本对韩国采取出口限制措施后,韩国企业开始自主生产并快速取得成果。

韩国17日表示,生产企业SK Materials近期开始量产超高纯度(纯度99.999%)氟化氢气体。超高纯度氟化氢气体是日本限制向韩国出口的项目之一,在半导体制造环节中用于清洗,海外依存度曾达100%。氟化氢被用于晶圆的清洗等方面。在高纯度的氟化氢市场,日本厂商大约占据8至9成份额。

SK Materials已在韩国东部的荣州市的工厂启动量产。该公司表示,实现量产的氟化氢气体达到被称为“5个9”的纯度,即99.999%,不过品质仍低于日本厂商产品。

SK Materials还透露,从去年底成功开发出试制品后,在韩国庆尚北道荣州工厂建设规模达15吨的生产设施。且三星电子和SK海力士将采用公司产品。

SK Materials计划截至2023年将国产比例提高到70%。

此外,SK Materials近期还着手开发高附加值产品“硬掩膜 (SOC)”和ArF光刻胶(ArF PR),并计划明年投资400亿韩元建设生产设施,从2022年开始每年生产5万加仑光刻胶。

SK Materials是一家生产销售半导体, 显示器, 太阳能电池等领域的核心材料, 并提供相关配套服务, 从而致力于物联网, 大数据, 无人驾驶等未来信息技术 (IT) 产业的发展。



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