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韩国SK Materials量产高纯度氟化氢，加速半导体材料国产化

  • 韩国SK集团17日表示，半导体材料生产企业SK Materials近期开始量产超高纯度（纯度99.999%)氟化氢气体。据韩国国际广播电台报道，去年日本对韩国采取出口限制措施后，韩国企业开始自主生产半导体材料并快速取得成果。韩国SK集团17日表示，半导体材料生产企业SK Materials近期开始量产超高纯度（纯度99.999%)氟化氢气体。超高纯度氟化氢气体是日本限制向韩国出口的项目之一，在半导体制造环节中用于清洗，海外依存度曾达100%。氟化氢被用于晶圆的清洗等方面。在高纯度的氟化氢市场，日本厂商大约
  • 关键字： SK集团  半导体材料    
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