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应用材料公司新一代Solion XP离子注入系统

作者:时间:2013-10-08来源:IC设计与制造收藏

  制造更高效率的产品并提升整体成品率

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/174458.htm

  最新技术让公司走在制造高效低成本电池的前列

  系统更先进的精度和工艺控制实现高重复性和高成品率

  新系统利用经市场检验行之有效的 Solion 平台

  2013 年 9 月 30 日法国巴黎讯 – 第28 届欧洲光电展 (28th European Solar Energy Conference and Exhibition, EU PVSEC) 本周在法国巴黎举行,公司今天宣布推出新一代 Solion? XP 离子注入系统。这套系统为客户实施最新的高效光伏电池设计提供了具成本效益的解决方案。Solion XP 采用原位图形化掺杂工艺,消除了多个降低成品率的制造步骤,从而支持批量制造成品率出众、成本更低的高效电池。Solion XP 印证了应用材料公司在推动光伏产业前行上的技术领导地位,其独特的精密扫描架构和可扩展设计支持每小时加工 3,000 多片硅片,运行时间和可靠度均达到了新高,大幅降低了硅片的单位成本。

  “Solion XP 专为光伏制造设计,展现出多代技术的最新成果,将加速业界发展进程,以比传统电池和组件更低或近似的成本实现22%以上电池转换效率,”应用材料公司能源与环境解决方案事业部产品副总裁兼总经理吉姆?穆林(Jim Mullin) 表示。“我们与走在行业前列的客户密切合作,开发解决方案,解决他们在成品率、分档、电池性能和成本方面最关键的制造难题。Solion XP 的架构优点可提高生产效率,并支持扩展至二维精密图形和 N 型电池工艺,有助于我们的客户满足市场对高成本效益太阳能源不断增长的需求。”

  电池制造商目前正在向 N 型太阳能电池转型,以求大幅提升电池效率、组件功率输出和能源采集量,在整体每瓦成本和产品差异化方面实现竞争优势。批量生产 N 型电池需要具备精密图形化和优质硼掺杂等先进技术能力,以减少工艺步骤,简化制造程序。Solion XP 技术具备原位图形化功能,可精密控制掺杂的深度、剂量以及硼和磷的配置,支持高效激活并降低N 型基材上先进电池结构的整体热预算。

  除更强的图形化功能和更高的系统产量外,Solion XP 带闭环控制的多通道垂直扫描架构可确保硅片到硅片的可重复性,从而提升电池分档密度和成品率。这些独特的功能解决了成本高昂的生产难题,反映了应用材料公司在离子注入领域 30 多年经过生产检验的专业知识积淀。Solion 平台在2011 年推出后,已迅速吸引全球领先的光伏太阳能电池和组件制造商关注,已有 20 多套系统应用与完整生产中,用于加工数百万个电池。Solion XP 是行之有效、成本效益高、风险低的解决方案,扩展了客户生产优质高效光伏组件的能力。



关键词: 应用材料 太阳能

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