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压力传感器应用实例及外围电路设计分析

作者:时间:2012-07-10来源:网络收藏

作为控制、监控和判断真空吸附的效果器件,电子首先在血压计上,之后经过不断的改革发展,在过程控制、轿车发动机控制部分、家用电器、装配机器人等领域也获得了广泛的(压力)。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/160331.htm

PS压力是一种利用半导体膜片结构制成的电子式压力,它可将空气压力这一物理量变换成电信号, 并能够高精度、线性地检测出压力的变化。图1为PS压力的截面结构图

PS压力传感器的截面结构图
PS压力传感器的截面结构图

PS压力传感器工作原理是:在压力传感器半导体硅片上有一层扩散电阻体,如果对这一电阻体施加压力,由于压电电阻效应,其电阻值将发生变化。受到应变的部分,即膜片由于容易感压而变薄,为了减缓来自传感器底座应力的影响,将压力传感器片安装在玻璃基座上。图2为压力传感器部分的结构图,

压力传感器部分的结构图
压力传感器部分的结构图

如图2(b)所示,当向空腔部分加上一定的压力时,膜片受到一定程度的拉伸或收缩而产生形变。

压力传感器电路的设计

图3是PS压力传感器的,图中用恒流源来驱动压力传感器。由于桥路失衡时的输出电压比较小,所以必须用运放IC1b和IC1C来进行放大。

PS压力传感器的外围电路设计实例
PS压力传感器的

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