压力传感器应用实例及外围电路设计分析

作为压力控制、压力监控和判断真空吸附的效果器件，电子压力传感器首先应用在血压计上，之后经过不断的改革发展，在过程控制、轿车发动机控制部分、家用电器、装配机器人等领域也获得了广泛的应用(压力传感器应用)。

PS压力传感器是一种利用半导体膜片结构制成的电子式压力传感器，它可将空气压力这一物理量变换成电信号, 并能够高精度、线性地检测出压力的变化。图1为PS压力传感器的截面结构图

PS压力传感器的截面结构图

PS压力传感器工作原理是：在压力传感器半导体硅片上有一层扩散电阻体，如果对这一电阻体施加压力，由于压电电阻效应，其电阻值将发生变化。受到应变的部分，即膜片由于容易感压而变薄，为了减缓来自传感器底座应力的影响，将压力传感器片安装在玻璃基座上。图2为压力传感器部分的结构图，

压力传感器部分的结构图

如图2(b)所示，当向空腔部分加上一定的压力时，膜片受到一定程度的拉伸或收缩而产生形变。

压力传感器外围电路的设计

图3是PS压力传感器的外围电路设计实例，图中用恒流源来驱动压力传感器。由于桥路失衡时的输出电压比较小，所以必须用运放IC1b和IC1C来进行放大。

PS压力传感器的外围电路设计实例