一种电容式传感器数字化通用检测接口设计

摘 要：针对电容式传感器的微变电容检测困难的问题，提出了一种数字化的通用检测接口方案。分析了基于“激励-检测”的直接式微变电容测量原理，利用DDS发生载波，并采用离散傅里叶变换分离测量结果的幅值与相位以求得电容变化量。根据接近式电容传感器的测量需要，设计了具体的硬件电路进行验证。实验结果表明，检测正确率在95%以上，该接口方案能够较好地检测设计值在0.1pF以上量级的微变电容，设计简洁，具有较强的移植性。

1 引 言

电容式传感器具有体积小，功耗低，灵敏度高等优点，被广泛应用于加速度、角速度、压力等各种非电量的测量。但是，与纯阻性传感器不同，电容式传感器的检测接口设计较为困难和复杂，通常采用模拟分立式元件进行放大和采样，这不但增大了系统体积，还引入了额外的温度和非线性误差。本文提出了一种通用的电容式传感器数字化检测接口，通过综合分析幅值和相位的关系，简化了设计，减小了误差，提高了检测精度。

2 电容式传感器模型

电容式传感器是一种将待测非电量转换成电容变化量的器件，可以广泛应用于加速度、角速度、压力等参数的测量。为了增大信号量，常采用变间距方式进行敏感。

以电容式压力传感器为例，其简化的基本结构，如图1所示。A1、A2为2个电容极板，其中A1为固定极板，A2为活动极板，A3为敏感膜片，用于感测待测气压的变化，d为A1、A2间距。当有外界待测量输入时，A3将推动A2向A1运动，从而改变A1和A2极板间的电容，只要检测出该电容的变化，就可以换算出相应的气压值。

当没有气压输入时，传感器初始电容量为：

式中：ε为介电常数，A 为极板间相对面积，d0为极板间初始间距。

当有外界气压输入时，由于A2向A1运动，导致d0减小，此时，传感器的电容量为：

式中：dx为间距变化量。

3 直接式接口检测原理

常见的电容式传感器接口有连续时间读出(如电荷放大器型、跨阻放大器型)和离散时间读出(如开关电容型)两种，都是将待测电容量变化为电压或电流量进行检测，本质上是一种间接检测方法，不利于系统集成。电容作为一种非纯阻性元件，对通过自身的电信号会进行幅度和相位的调制，利用这一关系，可以设计一种同时检测幅度和相位的电容式接口方案。

图2为接口设计方案，C 为电容式传感器，R1和R2为辅助电阻，根据待测传感器电容量大小进行选择匹配。

微控制器采用DDS方法发出单频正弦载波，经过幅度调整后送入电容式传感器，经过与辅助电阻比较后，对波形进行放大滤波并数字化，对所得数值进行离散傅里叶变换分离出实部和虚部后送回微控制器进行后续的计算和线性化处理。

假设载波VDDS =A0sin(2πft)，经过幅度整形后的传感器激励电压为

(A1为放大系数)，则检测电压为：

对检测电压进行AD转换后进行分离可解得相应的电容复阻抗为：

式中：Vdrive和Vsense均为复变量。

由于输入信号为正弦信号，具有周期性，则其实部与虚部分别存储了信号的幅值与相位信息，对Vsense进行DFT后就可得到待测电容量的变化信息。