Lasertec护膜和掩膜杂质粒子检查设备

Lasertec日前宣布成功地推出了新型护膜和掩膜异物检查设备——PEGSIS P100。这个设备能与90nm甚至更小尺寸半导体器件设计规则的掩膜兼容，具有很高的检查速率和灵敏度。Lasertec将这个产品视为2006年之前的旗舰产品，计划在2006年受理10部订单。
该设备不仅将检测灵敏度提高到了4μm，还能通过明视场检查进行缺陷检测。只要缺陷的种类清楚了，就能选择合理的洗净方法。今后几个月内还将配备可清除异物的选配功能，据介绍能够当场清除异物。包括掩膜搬运等时间在内护膜表面和掩膜背面的检测时间不足10分钟。