- 在经历了二十多年的研发之后，芯片制造商在一项能够大幅度提升硅片上晶体管密度的技术上压下了重注，那就是EUV光刻。他们能够取得成功，日本东京郊区的一家名为Lasertec小公司功不可没。
- 关键字：
EUV Lasertec
- Lasertec日前宣布成功地推出了新型护膜和掩膜异物检查设备——PEGSIS P100。这个设备能与90nm甚至更小尺寸半导体器件设计规则的掩膜兼容，具有很高的检查速率和灵敏度。Lasertec将这个产品视为2006年之前的旗舰产品，计划在2006年受理10部订单。 该设备不仅将检测灵敏度提高到了4μm，还能通过明视场检查进行缺陷检测。只要缺陷的种类清楚了，就能选择合理的洗净方法。今后几个月内还将配备可清除异物的选配功能，据介绍能够当场清除异物。包括掩膜搬运等时间在内护膜表面和掩膜背面的检测时
- 关键字：
Lasertec 护膜和掩膜 检查设备 杂质粒子
lasertec介绍
您好，目前还没有人创建词条lasertec!
欢迎您创建该词条，阐述对lasertec的理解，并与今后在此搜索lasertec的朋友们分享。
创建词条
关于我们 -
广告服务 -
企业会员服务 -
网站地图 -
联系我们 -
征稿 -
友情链接 -
手机EEPW
Copyright ©2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《电子产品世界》杂志社 版权所有 北京东晓国际技术信息咨询有限公司
京ICP备12027778号-2 北京市公安局备案：1101082052 京公网安备11010802012473
