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检查设备 文章

Lasertec护膜和掩膜杂质粒子检查设备

  • Lasertec日前宣布成功地推出了新型护膜和掩膜异物检查设备——PEGSIS P100。这个设备能与90nm甚至更小尺寸半导体器件设计规则的掩膜兼容,具有很高的检查速率和灵敏度。Lasertec将这个产品视为2006年之前的旗舰产品,计划在2006年受理10部订单。 该设备不仅将检测灵敏度提高到了4μm,还能通过明视场检查进行缺陷检测。只要缺陷的种类清楚了,就能选择合理的洗净方法。今后几个月内还将配备可清除异物的选配功能,据介绍能够当场清除异物。包括掩膜搬运等时间在内护膜表面和掩膜背面的检测时
  • 关键字: Lasertec  护膜和掩膜  检查设备  杂质粒子  
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