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一、核心材料特性(PFA 树脂)
超强耐腐蚀性:可抵御氢氟酸(HF)、王水、浓硫酸等强酸强碱,500 小时以上酸槽浸泡仍保持稳定,远超 PP、石英等材料。
宽幅耐高温:长期使用温度覆盖 - 200°C 至 + 260°C,能适配半导体清洗中 60-80°C 的 SC1 溶液、120°C 的 IPA 蒸汽干燥等场景。
极低污染性:金属元素(铅、铀等)本底值<0.01ppb,高温下析出物极少,可避免对晶圆、高纯度试剂造成二次污染。
高机械稳定性:可注塑复杂结构,表面硬度高,能承受 40kHz 超声波清洗的高频振动而不破裂、不变形。
二、核心应用行业
半导体制造
核心场景:晶圆的湿法清洗、蚀刻、离子注入等环节,作为承载晶圆的关键工具,适配先进制程对低污染、耐强腐蚀的严苛要求。
光伏产业
核心场景:太阳能电池片的酸碱处理、表面钝化工艺,凭借耐高温和耐化学性,确保电池片清洗过程中无材料污染、无结构损坏。
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