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近期,济南发布《2025年国民经济和社会发展计划》,提出要加快培育产业新动能,打造第三代半导体产业高地,加快推进山东中晶芯源碳化硅单晶和衬底项目、山东天岳碳化硅材料产业化项目建设,加大碳化硅上下游领域布局力度,争取集成电路关键材料和第三代半导体项目获得国家支持。
近年济南市依托政策扶持、技术创新及产业链整合,第三代半导体产业呈现高速发展态势。济南宽禁带半导体产业园汇聚山东天岳、山东晶镓、比亚迪半导体等龙头企业,涵盖材料、芯片、器件、封测的完整产业链。
济南碳化硅领域,以天岳先进、中晶芯源等公司为代表
山东天岳先进科技股份有限公司成立于2010年,是一家专注于碳化硅衬底材料的高科技领军企业,2022年成功登陆A股科创板。目前该公司已掌握世界最大尺寸12英寸碳化硅衬底的生产技术。在SEMICON China2025展会上,天岳先进全方位展示了6/8/12英寸碳化硅衬底产品矩阵,包括12英寸高纯半绝缘型碳化硅衬底、12英寸导电p型及12英寸导电n型碳化硅衬底。

source:天岳先进
天岳先进在p型重掺杂、大尺寸碳化硅衬底制备等关键技术上已取得系列突破,并稳固掌握晶体生长、缺陷控制、加工检测及部件自制等全技术链条。
山东中晶芯源半导体科技有限公司成立于2023年05月19日,注册地位于山东省济南市历城区彩石街道虎山路889号,该公司专注于碳化硅(SiC)单晶衬底材料的研发、生产和销售,其技术来源于山东大学晶体材料国家重点实验室,拥有20多年的碳化硅单晶衬底开发经验。
该公司与山东大学建立了全方位的产学研合作关系,设有山东大学晶体材料国家重点实验室产业化基地、山东大学研究生联合培养基地和山东大学-中晶芯源碳化硅半导体联合实验室。
氮化镓领域,以山东晶镓等公司为代表
山东晶镓半导体科技有限公司成立于2023年8月,主要从事氮化镓(GaN)自支撑单晶衬底的研发、生产和销售。
今年4月, 媒体报道山东大学与山东晶镓半导体有限公司在4英寸高质量GaN单晶衬底制备方面取得的重大突破:结合多孔衬底技术和应力调控策略成功获得了低应力、高质量的4英寸GaN单晶衬底。该4英寸GaN衬底在尺寸、晶体质量(FWHM平均值为57.91″,位错密度为~9.6x105cm-2)、应力均一性和表面质量方面(无损伤、Ra<0.2 nm)均表现优异,达到国际先进水平,为高功率、高频器件的批量制备奠定了基础。

source:晶镓半导体(图为GaN衬底测试结果)
展望未来,随着产业链完善和技术迭代,济南有望成为全国第三代半导体产业的核心增长极,为国内半导体产业自主可控贡献力量。
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