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近期,河南省工业和信息化厅、河南省财政厅、河南省科学院联合关于发布《河南省重点新材料首批次应用示范指导目录(2025版)》的通告,涉及碳化硅等碳材料:
铝基碳化硅复合材料薄板:(1)厚度0.05mm至1.0mm;(2)屈服强度≥320MPa;(3)延伸率≥3%;(4)热导率≥120 W/(m·K)。
碳化硅单晶生长坩埚用高纯石墨:(1)密度>1.80g/cm3;(2)电阻率(uΩ·m):8-13;(3)热胀系(室温-1000℃℃):≤5.8;(4)灰分≤50ppm;(5)碳化硅长晶坩埚使用寿命≥5次;(6)碳化硅长晶厚度≥60mm。
碳化硅晶圆衬底精磨液:(1)粒度:D50=2.0um;(2)圆度:0.94-0.95;(3)电导率:40-90uS/cm;(4)粘度:210-400;(5)去除速率>19.00nm/min。
资料显示,碳化硅(SiC)作为第三代半导体材料,在新能源汽车、光伏、5G通信等领域有广泛应用。近年,全国各省市积极发力碳化硅产业,河南也不例外。
作为全国重要的材料生产基地,河南依托丰富的资源与前瞻布局,在碳化硅材料领域实现技术突破与产业崛起。
2023年,平煤神马集团旗下的中宜创芯公司在平顶山建成国内首条第三代半导体碳化硅粉体生产线,填补了河南在第三代半导体材料领域的空白。该产线成功生长出全省首块8英寸碳化硅单晶晶锭,相比传统6英寸衬底,芯片切割效率提高近90%,为下游器件制造提供高性价比原料。
区域协同方面,平顶山市则依托平煤神马集团的产业优势,打造碳化硅集成电路的全产业链垂直示范园区。许昌襄城县依托煤炭资源优势,建设千亿级硅碳新材料产业园,已形成从煤炭到高纯硅烷、碳化硅的完整产业链。
政策方面,《河南省加快材料产业优势再造换道领跑行动计划(2022—2025年)》,明确将碳化硅作为重点发展的半导体材料之一,目标是到2025年基本实现材料产业的绿色低碳转型,成为全国重要的材料创新高地。
此外,《河南省培育壮大智能传感器和半导体产业链行动方案(2023—2025年)》也提出推动碳化硅等第三代半导体材料的发展,支持许昌等地加速半导体材料研发。
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