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首套EUV光刻机安装完成,英特尔将在爱尔兰Fab 34量产Intel 4制程

发布人:芯智讯 时间:2023-09-29 来源:工程师 发布文章

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9月29日消息,英特尔近日宣布,其位于爱尔兰的Fab 34晶圆厂已经完成了EUV(极紫外光)光刻设备的安装测试工作,目前已经正常开机,即将开始正式量产Intel 4制程技术。

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英特尔表示,将于当地时间9月29日在现场举行活动,庆祝Intel 4制程技术的量产,公司高层人员也会参与,包括执行长Pat Gelsinger、技术开发总经理Ann Kelleher和营运长Keyvan Esfarjani等。届时英特尔将介绍如何通过EUV技术达成生产和产品交货的过程,引领其先进的产品生产,进一步提供人工智能(AI)处理器到个人电脑,再到大型数据中心所使用的各类处理器。

据了解,2022年4月,英特尔Fab 34晶圆厂完成了第一套EUV微影曝光设备的安装,这是欧洲首座具备EUV光刻技术的晶圆厂。过程中,大约有100多名ASML工程师到了Fab 34晶圆厂协助安装,同时英特尔从美国派来了工程师,负责培训Fab 34晶圆厂的员工如何使用EUV微影曝光设备机。之前,英特尔向ASML订购了多套EUV光刻设备,这其中的第一套就是安装在Fab 34晶圆厂。

另外,为在爱尔兰的Fab 34晶圆厂是于2019年开始动工,在2023年正式投产。英特尔曾表示,爱尔兰晶圆厂是其全球晶圆厂扩建计划的一部分,其是为了满足全球半导体迅速成长的需求,同时也为英特尔的Intel 4制程技术量产铺路。目前,英特尔计划以Fab 34晶圆厂的intel 4制程技术来生产Meteor Lake和Granite Rapids等处理器。

编辑:芯智讯-林子


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关键词: 光刻机

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