- 介绍了一种田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真。该加速度计以SOI晶圆作为基片，经过氧化、光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等工艺步骤得到。通过支撑梁和3个轴的敏感结构的巧妙设计，有效避免了平面内和垂直方向的交叉轴干扰的影响，并提高了Z轴的灵敏度。通过差分电容的设计，理论上消除了交叉轴干扰。通过仿真得到了该加速度计在3个轴向上的灵敏度及抗冲击能力。结合理论分析和ANSYS仿真结果，可以得出结论：所设计的加速度计拥有较低的交叉轴干扰、较高的灵敏度以及较强的抗冲击能力，在惯性传感器领域有一定的应用前景。
- 关键字：
微加速度计 SOI 交叉轴干扰 灵敏度
- 摘要：为弥补多媒体教学中激光笔的不足，提出了一种基于微加速度计的无线教鞭系统，它不仅具有激光笔上下翻页的功能，而且能在空中自由灵活移动实现高精度点击的功能，该系统以微加速度计ADXL345作为信号检测元件，并采用低功耗低成本微控制器AT89S52和RF芯片nRF24 L01进行信息处理与无线传榆，符合人体工程学设计，最大限度地满足人们使用鼠标时在手感以及舒适度和使用习惯方面的要求。
目前多媒体教学或会议演示中已经用到无线教鞭，但是更多的只能用来文档的翻页，所以使用时还得配合有线或无线的鼠标，正由
- 关键字：
无线教鞭系统 微加速度计 ADXL345
- 摘要：基于常用的MEMS惯性器件微型加速度计，介绍一种采用ARM和FPGA架构来采集加速度数值的设计方案，微加速度计的模拟输出信号经A／D芯片转换后由FPGA进行处理和缓存，然后ARM接收FPGA的输出数据并对数据进行显示和
- 关键字：
FPGA ARM 微加速度计 数据采集
- 1 引言
随着硅微机械技术的不断发展，基于压阻原理的微加速度计已成为商品。由于硅的机械性能优良，这些微加速度计往往具有较高的抗过载能力。然而，有些物理过程存在相差上百倍的多个加速度值需要测量，需要测
- 关键字：
复合量程 动态特性 分析 微加速度计
微加速度计介绍
微加速度计是指加速度计与微电子机械系统（MEMS）相结合的一种用于测量加速度变化量的装置，也叫MEMS加速度计。它是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力，能够及时分析物体运动状态，通过微电子机械系统测量出物体的运动状态及轨迹。 微加速度计按检测方式，可分为压阻式、电容式、隧道式、共振式、热形式等几种。 1. 压阻式加速度计：通过在质量块的支撑（suspension）上嵌有压敏电阻来感应质量 [
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