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复合量程 文章 进入复合量程技术社区

复合量程微加速度计动态特性分析

  • 1 引言
    随着硅微机械技术的不断发展，基于压阻原理的微加速度计已成为商品。由于硅的机械性能优良，这些微加速度计往往具有较高的抗过载能力。然而，有些物理过程存在相差上百倍的多个加速度值需要测量，需要测
  • 关键字： 复合量程  动态特性  分析  微加速度计    
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复合量程介绍

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