- 荷兰光刻机制造商ASML官方宣布,收购其竞争对手荷兰代尔夫特的光刻机制造商Mapper的知识产权资产。同时,ASML的官方声明中还写到,将为Mapper在研发和产品装配方面的高技能员工提供合适的职位
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ASML Mapper
- TSMC与荷兰商MAPPER公司于19日共同宣布,MAPPER公司安装在TSMC晶圆十二厂超大晶圆厂的原型机台正不断地重复写出超微小电路元件,系先前使用浸润式微影技术所无法达到的成果。
过去几个月来,TSMC扩充了无光罩微影技术的研究团队,并与MAPPER公司的工程师们一同在晶圆十二厂里合力将电子束直写能力整合至工艺中,以供未来更先进的技术世代使用。
TSMC研究发展资深副总经理蒋尚义博士表示:「TSMC在工艺上一直不断寻求最具成本效益的做法,而使用MAPPER公司机台所得到的成果,不仅符
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台积电 晶圆 MAPPER
- 半导体设备供应商Mapper Lithography BV公司日前获得荷兰经济事务部名为SenterNoven的机构达1000万欧元(合1470万美元)的补贴。
Mapper公司将利用此笔资金开发试用版设备。公司表示目前正在设计一款无掩模光刻设备的开发。这款设备将含有超过10000道平行电子束,从而将会在晶圆上直接形成图样,降低普通光刻设备上由于采用掩模版而带来的高昂成本。
Mapper将联合股东各方Catena,Technolution,Multin Hittech,Demcon,Del
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Mapper 半导体设备 光刻
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