一种新型MEMS微波功率传感器的设计与模拟
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2．2 S参数模拟
本文中的传感器是利用共面波导作为待测微波信号的传输线将其引入到测量系统中，其特性阻抗为50 Q。为了将微波信号转化为热量，在CPW 的末端配以四个纯阻性负载电阻，每个电阻的阻值均为200 Q。对于微波信号而言，四个200 Q的是并联的，因而形成50 Q的负载，与CPW 的特性阻抗相等，从而达到阻抗匹配的效果。
使用高频模拟软件HFSS模拟了传统结构和三明治结构的回波损耗S 模拟中使用的传感器结构参数与上面相同，模拟结果如图5所示。
图5(b) 使用H上t 模拟的S11
(A 曲线为三明治结构；B曲线为传统结构)
从图5(b)可以看出，三明治结构与传统结构的回波损耗基本一致，在1～6 GHz的频率范围内，三明治结构的S 小于一30 dB，在6～2O GHz的频率范围内，S 小于一20 dB，保持了较小的损耗，显示了良好的匹配特性。
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