MESSTAR采访

1.你们在MEMS制造设备方面有哪些最新的技术或产品进展？

在Memsstar，我们的技术重心是应用于剥离的干蚀刻和表面涂层，这是制造MEMS器件的最后一步。蚀刻用于剥离MEMS器件的运转部件，涂层用于保护器件。

我们与研究伙伴合作开发工艺，专注于性能和能力，然后将这些工艺集成到系统中，从而实现将实验室成果运用到实际生产。例如，我们与德国的Fraunhofer（弗劳恩霍夫）研究所合作开发使用非晶硅（a-Si）作为MEMS器件构造的牺牲层。

当然，我们正致力于不断开发我们现有的产品，以提高性能，迎接制造最先进的MEMS设备挑战。

2.您对新冠病毒（COVID-19）之后MEMS市场的发展有什么看法？哪些应用部门会有明显的增长？

新冠疫情最大的影响是对我们需要人际互动的部分业务的影响。边境封锁限制了我们启动新系统和为客户提供现场支持的能力。我们尝试使用虚拟现实（VR）解决方案来缓解该问题，但由于安全问题，以及无法在无尘车间内维持Wi-Fi信号，这一方案变得复杂起来。我们设法通过视频会议和电子邮件提供支持，但这具有挑战性。

MEMS市场正在并将继续增长。COVID-19对MEMS的影响与其对芯片市场的影响相似。鉴于最近的大流行病，生物MEMS显然将成为设计者的一个增长及机会的领域。MEMS可以在新冠病毒的非侵入性检测中发挥很大作用。

3.由于芯片短缺情况正在向越来越多的地区蔓延，供应链也面临压力，您认为这是否会影响到MEMS领域？您对明年的MEMS发展有什么期望？

预计芯片短缺会对MEMS产生影响是合理的。 如果代工厂同时提供半导体以及MEMS的生产，那么这种平衡将在需求中得到权衡。MEMS将继续以稳定的速度发展。新的创新将来自于设计公司，他们的挑战之一可能是为新设计的 “概念验证 “获得晶圆供应。此外，这种小批量的定价将大大增加。

4.有说法指出，用于汽车的MEMS将有第二次增长浪潮。您对此有什么看法？

我同意这个观点。如果您看一下未来的汽车销售，增长将来自于电动汽车。因此，MEMS的使用量很大，远远高于传统汽车。另外，随着自动驾驶和智能高速公路的推动，MEMS和传感器将发挥越来越重要的作用。

5.由于车辆使用的部件有更严格标准，那车辆和其他应用领域，例如移动设备，MEMS产品的制造过程有什么不同？

这与设备制造的可靠性及可重复性有关。Memsstar一直专注于性能，因此，无论供应给哪个部门，制造商都会受益。

6.除了汽车和移动设备，您认为还有哪些应用领域会在未来推动MEMS的发展？

未来MEMS发展的一些应用可能包括：1）可穿戴设备中的麦克风和惯性MEMS；2）气体传感器和环境组合，其帮助监测室内外空气质量；3）用于LiDAR和AR/VR的光学MEMS；4）MEMS微型扬声器；5）用于病毒检测的生物MEMS应用；6）植入式应用。