深度解读:未来会有足够的硅晶圆吗?
SOI晶圆市场是值得关注的一个重点。环球晶圆发起这单交易的一个原因就是看中了SOI的市场。
本文引用地址:https://www.eepw.com.cn/article/201610/311836.htm从构成上看,一个SOIsubstrates在其隐埋氧化层上面包括了一个超薄的硅层,而绝缘层就抑制了设备的泄漏。
SOI晶圆被应用到数字、电源和RF应用。在数字领域,现在已经推进到了一个叫做FD-SOI的平面工艺。
对于芯片制造商来说,FD-SOI是他们在块状硅上面的一个可替代选择。当中包括28nm的plannar和FinFET。FD-SOI的存在给产业界未来的路线提供了一个新选择。当中的领导者是 GlobalFoundries.。
但关于SOI,有两点值得注意,那就是晶圆成本和供应链。现在只有几个SOI晶圆供应商,分别是Shin-Etsu,Soitec, Sumco 和SunEdisonSemi.
即使 GlobalWafers-SunEdison的交易最终确定,也不会影响SOI晶圆的供应。我认为关于SOI晶圆的供应量是不需要担心的,三星的相关人士表示。
成本在SOI市场是应该值得关注的。晶圆制造商过去几年在降低SOI晶圆的成本上做了很多努力。主要的挑战在设备层的厚薄均匀性和反射率上面,这两项都在设备层或以下。尤其是厚薄均匀性,对于SOI晶圆来说是最大的挑战。
有人说SOI的成本是最主要的问题,但有些专家并不这样认为。因为SOI技术在过去几年得到了很大的提升,例如一个简单的 STI,就可以消除SOI晶圆的成本差异。
三星则认为,尺寸会是SOI晶圆的一个挑战,随着工艺进展到FDSOI,三星希望能降低SOI晶圆的substrates成本。
但总的看来,SOI晶圆市场还非常小,Polished和epitaxial晶圆依然是市场上的大头。
Polished 晶圆被应用到Memory,这就要求有平滑和干净平面的超平substrates,而substrates 晶圆责备广泛应用到Logic和其他市场。
Anneal-based晶圆也关注日增,anneal晶圆的制造成本比epi晶圆更低,所以前者的平均成本较后者更低。
通常epi晶圆是用但晶圆设备加工,而anneal 晶圆则一次把大约30个抛光晶圆放置在一个分层式熔炉。这是基于一个分层工艺制造的,这样你就会耗费更少的成本。
硅晶圆市场非常关键,我们希望他会变得越来越好。
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