电容式边缘传感器的设计
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实验采用如图9所示的V1信号经过功率调整的电压信号作为比较信号，图10对应C1=C2输出信号滤波前后波形，图11，图12分别对应C1> C2，C1C2时的比较信号和输出信号波形。输出信号和比较信号通过相位检测电路的输出结果如表1所示，实验结果表明微动台两平板初始间隙为5μm，该电路能够检测到小于5 nm的平行度。本文引用地址：https://www.eepw.com.cn/article/162235.htm
4 结语
作为纳米级的电容式边缘传感器，可以广泛应用于精密控制领域。在天文上。能够检测到5nm的平行度的传感器，可以应用于光学镜面调整，目前法珀和拼接镜面技术应用越来越广泛，电容式边缘传感器因其体积小、成本低、温度稳定性好等诸多优点，在法珀和拼接镜面技术发展中的地位不容小觑。电容式边缘传感器技术在国内发展仍不成熟，提高该传感器电路性能，减少噪声等误差源的影响，实现大行程，高精度的测量是我们下一步继续努力的目标。
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