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吉时利发布2600系列SourceMeter® 数字源表2635和2636

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作者:时间:2007-09-18来源:EEPW收藏
仪器公司发布了其2600系列SourceMeter® 的两款新产品2635和2636,自此形成业界技术最先进、效费比最高的半导体参数分析与解决方案。2635和2636采用最新特殊参数分析技术,实现了高达1fa(10-15安)的分辨率,从而满足了很多半导体、光电和纳米器件的需求。此外,其基于仪器的多通道架构相比普通的基于主机的源方案降低了50%的成本。通过其脚本处理器(TSP™)和TSP-Link™互连通信总线,测试工程师可利用2636和2635快速构建用于技术研究、特征分析、圆片分拣、可靠性测试、生产监测等多种测试应用场合的高速测试系统。

2635和2636能够实现从飞安和微伏量级到200V/1.5A范围的高效费比直流和脉冲测试。它们可以配合PC机或独立工作,测试速度比普通基于主机的源方案快四倍。此外,每种仪器内置一个类似于PC的微处理器,支持各种简单或复杂的测试程序(脚本)的编程与独立执行,包括提供信号源、测量、测试序列流程控制以及带条件程序分支的判断操作等。2635和2636极易与其他仪器集成构成自动测试系统,因此对于从事圆片级测试和封装器件测试工作的元件制造商和半导体厂商都极具吸引力。同时,对于需要快速、方便地进行器件与材料I-V特征分析的各领域研究人员和学者而言,其低成本优势十分诱人。

最廉价的易扩展性

对于较小和中等引脚个数的器件,或者多器件和材料样本的测试,2635和2636能够大大降低用户的测试成本。它们将五种精密测量仪器的功能集于一身:SMU(源测量单元)、DMM(数字万用表)、偏压源、低频脉冲发生器和任意波形发生器。所有功能都受控于TSP,从而支持在仪器内下载与执行完全可编程的测试序列。这在增大测试产能的同时降低了通信与PC开销,完全具备满足不同测试环境需求的控制灵活性。

除了支持TSP功能外,的TSP-Link主/从连接功能还提供了一种高速、低延迟的接口,以便和其他基于TSP的仪器相互连接,实现简单的单台和多台仪器软件控制架构。2600系列测试系统一个主要优势在于能够根据当前和今后的测试需求为用户提供方便的可扩展性。在无需主机的情况下,多个单通道(2635)单元和双通道(2636)单元实现无缝集成。该种无需主机的扩展性能够实现每GPIB地址32个通道的系统规模,同时将新增通道所需的成本、机架空间和时间降至最低限度。通过选用2600系列产品,用户可以利用两到三个经过标准校验的SMU模型对多种应用领域的10A脉冲或者3A直流电流进行测试。用户只需修改SMU执行的测试脚本,就可重新定位SMU功能。

更短的测试时间

所有基于TSP功能的系统皆能存储并执行大量预定义的器件测试脚本,包括界限比较、PASS/FAIL判断、元件分拣等。无论是否有PC机的配合,都能够独立完成测试工作。此外,其数字I/O端口可以直接控制探测器、机械手和其他仪器,而TSP-Link功能还允许用户在多个通道和仪器上执行高速的自动化测试操作并避免GPIB通信开销。相比早期的定序式测试仪,测试时间减少了10倍,在元件测试方面的测试时间通常都降低了2到4倍。

2635和2636与吉时利新推出的3700系列系统开关/万用表(也具有TSP和TSP-Link功能)结合使用时,能支持范围更广的高速应用。同时,这两个产品系列提供了基本的功能模块,能够实现紧密集成的高性能开关和多通道I-V测量系统。测试工程师使用这些产品可非常方便地构建出针对高产能测试优化的低成本ATE系统,例如半导体强度测试和封装器件的功能测试。

轻松的系统开发

历史上,为初级研发和高速产品测试工作而开发多仪器特征分析系统或ATE系统曾是一大挑战。吉时利通过两个免费的软件工具解决了这一问题,大大简化了2600系列的系统集成。对于研发和曲线绘图等应用,吉时利LabTracer™ 2.0软件能够控制多达8个通道,无论编程与否皆能执行器件特征分析操作。利用这种软件,用户可非常方便、轻松地配置每个通道,测试器件参数,绘制测试数据曲线。
对于高速生产测试的应用场合,用户可使用一种简单的类似于BASIC风格的编程语言对测试脚本处理器进行编程,所编写的脚本能在仪器上实时运行。其直观而易于使用的界面兼容所有流行的编程语言。吉时利为信号扫描、脉冲发生、波形生成和常见的元件测试提供内嵌测试脚本。测试仪器中包含大量测试脚本,其他一些脚本可从吉时利官方网站http://www.keithley.com/上免费下载。为用户预先编写的测试脚本可直接使用,或经由用户裁剪后使用,从而帮助生产用户有效提高测试系统的执行速度。

用户还可通过其他方式开发自定义的测试脚本,包括Test Script Builder的免费编程工具,用户能使用它提供的简单命令语言创建、修改、调试和保存TSP脚本。用户脚本能从PC机上下载到主数字源表中,存储在它的非易失性存储器内。该存储器具有16MB容量,可存储50000行TSP代码和100000个读数。研究表明,利用TSP及其相关软件,相比前几代定序式测试仪器,用户的系统开发时间降低了50%到75%。

吉时利2600系列仪器的优势还体现在由其ACS(自动特征分析套件)驱动的总控集成测试系统上。2600系列仪器支持数量可扩展的源-测量通道以及各种半导体应用的高速测试,包括圆片级可靠性分析、圆片上参数化管芯分拣和自动化特征分析。例如,需要极高测量速度的测量任务(例如动态NBTI)可以顺序执行,或者与器件级、圆片级或圆片盒一级的测试规划并行执行。ACS所特有的灵活性以及用户友好性实现了系统仪器的完全控制,提供了强大的圆片描述工具,支持半自动和全自动的探测器控制功能,提高了测试过程的自动化,并对测试结果进行深入分析。ACS利用2600系列的灵活性,为用户提供了吉时利所独有的自动测试系统。



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