可穿戴激发MEMS发展潜能 ADI强调技术创新与突破

　　近年来，随着智能手机、汽车安全、可穿戴医疗监护以及物联网等新兴热门产业的高速发展，推动MEMS产品需求量的持续攀升。除了工业精密仪器、医用扫描等高端应用，MEMS产品已经逐渐渗透到我们的日常生活当中，据IHS相关资料显示，全球消费与移动领域用MEMS市场需求量持续增长。智能移动设备和可穿戴体征监测等已成为时下最为火热的MEMS应用领域。

　　同时，针对整个半导体生态系统而言，MEMS也扮演着越来越重要的角色。根据权威国际市场调研公司ICInsights预测，MEMS元件(包含传感器与致动器)市场规模在2014年可达到80亿美元。整体市场规模也将在2018年达到122亿美元。

　　“可穿戴设备市场会是继手机市场之后，又一MEMS传感器的迅速增长点”来自全球领先的高性能信号处理解决方案供应商ADI公司的亚太区微机电产品市场和应用经理赵延辉先生如此看待MEMS在未来可穿戴设备市场中的发展趋势。

　　ADI公司亚太区微机电产品市场和应用经理 赵延辉

　　相比于传统的手机市场，MEMS会在可穿戴设备中起到更加举足轻重的作用。赵延辉先生针对这一点在谈话中展开详细阐释，他表示如此强调MEMS在可穿戴设备应用中的重要性，这是因为手机最基本的功能是通话，而穿戴设备最基本的功能是运动传感。且由于穿戴设备一般都是电池供电，还要求产品重量轻、体积小、待机时间长，这就对核心传感器提出了更高精度，更低功耗，更小体积的要求。面对以上对运动传感器的强烈需求，ADI公司MEMS产品线将在未来几年内持续加大研发力度。

　　由于可穿戴设备目前最为主流的目的就是用来监测永和的运动健康指标和体征，因此MEMS的精确度成为业内专家更为关注的性能指标。赵延辉也对此表示同意，他表示如果MEMS的精度达不到相应的标准，可穿戴设备也就失去了意义。一个优秀的传感器可以正确反应用户的在不同状态下，可能引起的传感器输出变化，而对于干扰信息可以有效滤除，而不是让其混叠到有效信息里。再有就是功耗，对于穿戴式产品来说，由于是7x24小时佩戴，功耗问题是非常重要的。优秀的MEMS传感器都会解决这两方面的问题。赵延辉先生还举例介绍道，像ADI公司的MEMS产品ADXL362，它不止是器件低功耗，在设计时，还重复考虑了如何实现系统低功耗，比如深FIFO和各种内置的中断。再有，就是在精度上的考虑，ADXL362可以在扑捉正常人运动变化的同时，滤除各种环境干扰。

　　综上看来，MEMS的相关技术与制造工艺存在巨大的发展空间和潜力，就赵延辉先生表示，MEMS技术在未来的发展重点主要集中在以下三个方面：首先就是保证微型化的同时降低功耗。将会出现微米甚至纳米级别的微型器件，同时降低功耗;其次便是保证微型化的同时提高精度，将MEMS加速度计做到石英加速度计的噪声特性，保证MEMS陀螺仪小体积的同时获得光纤陀螺仪的零偏稳定性，且可提供远优于光纤陀螺仪的抗冲击特性;最后也就是集成化及智能化需求，即MEMS与IC的集成制造技术及多参量MEMS传感器的集成制造技术得到发展，以及在集成化基础上使得信号检测具有一定的自动化。

　　以上这些需求要求半导体产生能够提供高精度、高稳定性、高集成度的MEMS传感器模块。基于此，赵延辉先生还表示，ADI继续将重点放在开发MEMS传感器的核心技术，以提供最好的工业级加速度计和陀螺仪。同时，ADI还将继续提供更多高集成度的MEMS传感器，以适应不同市场的需求。